金融界2025年7月11日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市矩阵多元科技有限公司申请一项名为“一种基片加热器和基片加热装置”的专利，公开号CN120302472A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基片加热器和基片加热装置，基片加热器包括铠装模块，具有第一真空腔，第一真空腔内设置有发热模块，发热模块的接电端设置于第一真空腔的外部；密封组件，包括第一底盖、密封套和密封圈，发热模块的接电端能够从外凸管、密封圈、密封套的内侧穿过，密封圈的内侧与接电端的外侧抵接以形成密封连接。基片加热装置包括上述的基片加热器和旋转模块，旋转模块包括具有容纳腔的外罩盖、基片托板和旋转驱动件，容纳腔具有第一开口和第三通道，基片托板与外罩盖固定连接，旋转驱动件能够带动外罩盖转动，发热模块设置于容纳腔内，密封组件与外罩盖可转动连接，发热模块的接电端能够从第三通道穿过并与密封组件密封连接。
天眼查资料显示，深圳市矩阵多元科技有限公司，成立于2016年，位于深圳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1354.502万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市矩阵多元科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目85次，专利信息165条，此外企业还拥有行政许可13个。
本文源自：金融界
作者：情报员